電感耦合高頻等離子體光源設備簡介

       高頻等離子體發(fā)生器是通過高頻發(fā)生器的作用產(chǎn)生高頻振蕩磁場，供給等離子體能量。當高頻電源與圍繞在等離子炬管外的負載應線圈接通時，高頻感應電流流過線圈，產(chǎn)生軸向高頻磁場。此時向矩管的外管內(nèi)切線方向通入冷卻氣Ar,中層管內(nèi)軸向（或切向）通入輔助氣體Ar，并用高頻點火裝置引燃，使氣體觸發(fā)產(chǎn)生載流子（離子和電子）。當載流子多至足以使氣體具有足夠的導電率時，在垂直于磁場方向的截面上產(chǎn)生環(huán)形渦流電流。幾百安的強大感應電流瞬間將氣體加熱至10000K，在管口形成一個火炬狀的穩(wěn)定的等離子炬。高頻等離子體官員主要用于地質(zhì)、冶金、化工、建材、環(huán)保、醫(yī)藥、食品、科學試驗等領域。

       我公司生產(chǎn)的高頻等離子體光源選用了微機控制可控硅調(diào)壓裝置。

       該裝置由于采用了等間距觸發(fā)方式，使諧波分量大大降低，既節(jié)能，又減輕了對電網(wǎng)的污染。同時該裝置具有線性矯正環(huán)節(jié)，使輸出跟蹤給定電位器的變化而變化，使調(diào)整簡單方便。鎖相分頻電路可使設備在系統(tǒng)頻率發(fā)生變化時，能自動跟蹤電網(wǎng)的變化。本設備還采用了多重保護裝置，并具有故障記憶顯示功能，為設備的維修及故障提供了極大的方便。

       我公司可根據(jù)用戶的需要專門設計在特殊領域應用的大功率的高頻等離子體發(fā)生器。我公司曾經(jīng)為中國礦業(yè)大學、中國科技大學、中科院煤化所、中國科學院大學等單位專門設計生產(chǎn)了特殊科研應用所需的高頻等離子體發(fā)生器。